對于高分辨顯微科學而言,壓電定位與掃描平臺是最基本的研究工具。利用平臺的快速響應和亞原子分辨率,科學家可以更快速地獲得高質量的影像。

  研生科技生產各種類型的快速物鏡鏡頭定位器和樣品掃描器,用于反卷積和3D成像(Z分層獲取)以及快速調焦。壓電驅動Z掃描器通常可以達到比普通電動系統高10倍的調焦速度和精度。研生科技設計的控制器都具備很高帶寬,可實現超快響應,并與主流的成像采集設備兼容。
  光阱實驗往往依賴閉環壓電納米定位臺和偏擺鏡來提供高分辨率和穩定性。研生科技設計研發的高性能壓電控制器更是此類跟蹤應用的利器,大大提升了納米定位系統的功能。



      壓電納米定位臺和促動器已經在許多非接觸式光學檢測系統和接觸式納米測量系統中大量運用。壓電納米定位產品所具備的亞納米精度、極好的一致性、納米至亞納米級的平面度和直線度是這些領域最新技術突破的前提。通過應用高級數字控制方法,掃描線性度可以提高數個數量級,而跟蹤誤差減小到亞原子水平。電容式納米測量傳感器可以測量亞納米范圍的運動并具有很高的帶寬。

       壓電促動器和納米定位傳感器同時也是納米壓印/微米壓印機構以及納米摩擦學/納米制造實驗的理想組件。  




       生物科技及相關科學的快速發展帶來了高速高精度定位系統的需求。

  研生科技的壓電定位系統可以使顯微物鏡鏡頭在數毫秒內完成精密聚焦,也可以幫助細胞快速排列。藥物篩選技術也需要壓電系統進行納升級的微配藥,并依賴壓電促動器的速度、精度和超長壽命。

  目前前沿DNA研究中最重要的研究工具是掃描光學顯微鏡。而如果沒有壓電定位系統,這類顯微系統根本無法工作。



       新藥設計及相關生命科學的快速發展帶來了高速高精度定位系統的需求。

  壓電促動器的高速和非磁特點非常適合用于MRI和OCT應用中,也可以幫助實現細胞快速排列。藥物篩選技術也需要壓電系統進行納升級的微配藥,并依賴研生促動器的速度、精度和超長壽命。壓電光束偏擺系統可用于激光束的超快和超精度角度控制。目前DNA研究中所必需的掃描光學顯微鏡如果沒有壓電定位系統也根本無法工作。



       由于壓電定位技術具有很多獨特之處,例如快速響應、剛性好、長壽命、無限的分辨率等,很快在從半導體測試設備到精密機械加工等許多領域中得到應用。其中,最具有代表性的應用為用于精密加工的壓電快速機床伺服系統,該類系統通常裝有特殊的防水外殼,并提供與機床相聯的機械接口。

  壓電定位系統內置測量/傳感子系統,分辨率達到納米至亞納米級,通過數字或模擬控制器可閉環工作。柔性導向機構及運動放大機構可以在增大行程的同時保護壓電陶瓷免受離軸力(側向力和扭矩)的破壞。

  壓電定位系統廣泛用于世界各地的工廠中,每天工作24小時,一周7天。它們的使用大大提高了光學器件、曲軸、軸承、活塞、汽缸等的加工精度,成為機床中金剛石修整、研磨、拋光、非圓鏜孔和磨損補償等關鍵工藝的核心部件。



       摩爾定律一直在推動IC線寬和尺寸的變化。為了跟上技術發展的步伐,前端制造設備和測量設備中的納米定位機構和精密運動控制系統的精度必須達到10倍至1000倍的更高精度和更小特征尺寸。振動、定位誤差和漂移必須控制在0.1nm范圍內(原子半徑量級)。傳統的定位系統已經無法提供半導體產業所需的穩定性和精度。

       在半導體領域,使用基于壓電陶瓷的解決方案,包括用于減震的長壽命壓電元件,用于定位的超高性能大行程納米定位平臺。其他的精密運動產品還包括用于快速光束穩定/角度校正的壓電偏擺平臺,用于納米測量應用的壓電柔性納米臺,用于掩模對準的納米對準系統,用于水平和垂直定位的新型混合大行程納米定位臺。電容納米測量傳感器可以測量亞納米尺度的運動并具有很高的帶寬,也大量應用在半導體產業中。



       壓電定位系統是納米技術領域基本的研究工具。該領域諸多應用中極高的精度和速度要求使納米定位系統的作用變得非常關鍵,例如納米壓印、納米裝配、超高密度數據存儲和納米制造。

  除了超快的精密定位機構,高性能的壓電控制器可以得到非常高的帶寬,也可以消除動態非線性問題,得到非常高的跟蹤精度;主動軌跡控制技術可以消除離軸誤差;特殊的陷波技術可以消除自激振動,從而達到最快的建立時間。



       壓電定位系統作為一種基礎工具,廣泛應用于超高密度數據存儲中的測試和測量系統、納米壓印、納米裝配和納米制造。在跟隨摩爾定律的過程中,它們所具備的超高精度和速度使它們成為必不可少的器件。

  通過先進的機構設計和高性能的控制技術,納米定位的技術水平被提升到納米級精度和毫秒級響應。



       壓電納米定位技術為MEMS和光電子設備的測試與制造提供大量的創新解決方案,產品范圍從用于工業自動化的自動6D對準系統到簡單的實驗室裝置。特有的壓電驅動裝置使亞毫秒的快速掃描響應成為可能。

       在該領域,壓電納米定位產品的具體應用包括光纖或光纖陣列的自動對準、用于MEMS和多通道波導器件的測試系統等。



       大型地面望遠鏡的分辨率會受到振動和大氣擾動的限制。為了克服這些技術障礙,壓電偏擺系統用于主動二次及三次鏡的穩定化。壓電驅動主動鏡通過實時校正圖像偏離,可以將有效分辨率提升1000%,很適合于弱光源的積分觀測。



       在準靜態應用中,壓電促動器可以提供高驅動力和低功耗甚至零功耗。它們也可以在真空和極低溫度下工作,而這往往是航空應用的基本要求。壓電偏擺系統用于穩像應用,壓電驅動的主動光學鏡通過實時校正圖像偏離,可以將有效分辨率提升1000%,在弱光源的積分觀測中更是大顯神威。


應用領域