壓電定位系統是納米技術領域基本的研究工具。該領域諸多應用中極高的精度和速度要求使納米定位系統的作用變得非常關鍵,例如納米壓印、納米裝配、超高密度數據存儲和納米制造。

  除了超快的精密定位機構,高性能的壓電控制器可以得到非常高的帶寬,也可以消除動態非線性問題,得到非常高的跟蹤精度;主動軌跡控制技術可以消除離軸誤差;特殊的陷波技術可以消除自激振動,從而達到最快的建立時間。


納米技術、納米制造與納米自動化領域

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