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P255S是采用壓電陶瓷驅動的二維納米級壓電顯微鏡掃描臺,專為顯微掃描系統應用設計,壓電掃描臺內置德國進口高性能壓電陶瓷,內部采用高精度柔性鉸鏈并聯導向系統,具有超高的運動精度,可提供超高平面度的納米掃描,壓電掃描臺采用獨特的并聯式結構設計,結構緊湊,所有促動器作用在同一個移動臺面上,使臺面具有更輕的質量和更低的慣量,相較于串聯式壓電掃描臺,并聯式壓電掃描臺具有更高的負載、更高的動態性。壓電顯微鏡掃描臺內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,確保壓電平臺具有極佳的運動控制精度,分辨率、定位精度、穩定性可達納米量級,運動穩定時間僅為毫秒量級。壓電顯微鏡掃描臺非常適合應用于超高精度的顯微掃描系統中,超大中空式設計,可方便安裝載片支架和培養皿支架,可更好的集成于顯微掃描系統中。

<節選1>P255S二維納米級壓電顯微鏡掃描臺介紹

<節選2>P68系列六維全并聯壓電納米位移臺介紹

六維壓電納米位移臺 ║P68系列是采用壓電陶瓷驅動的六維并聯式壓電陶瓷定位平臺,六維壓電納米位移臺內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點,壓電陶瓷平臺內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,確保了壓電平臺具有極佳的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。壓電陶瓷定位平臺內部采用并聯式結構設計 , 結構緊湊,所有促動器作用在同一個移動臺面上,可同時實現多軸運動且每軸具有相同的動態性。對比嵌套式或疊堆式的串聯結構,并聯結構有著更輕的質量,更低的慣量和更高的動態性。中空式設計,且中央通孔較大,可更好的適用于顯微及掃描系統中。

<節選3>P11系列三維壓電平移臺介紹

三維壓電平移臺 ║P11系列是采用壓電陶瓷驅動的三維納米級壓電平移臺,壓電納米平移臺內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點,壓電平移臺內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,確保了壓電平移臺具有極佳的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。壓電納米平移臺為無磁材質,使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。壓電平移臺特點體積小、結構緊湊、易于集成、具有超高性價比的納米定位系統。

<節選4>P11系列二維壓電平移臺介紹

二維壓電平移臺 ║P11系列是采用壓電陶瓷驅動的二維壓電納米定位臺,壓電平移臺內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點,壓電平移臺內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,確保了壓電平移臺具有極佳的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。壓電平移臺為無磁材質,使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。平臺特點體積小、結構緊湊、易于集成。

<節選5>P11系列一維壓電平移臺介紹

一維壓電平移臺 ║P11系列是采用壓電陶瓷驅動的一維納米級精密定位壓電平移臺,壓電平移臺內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點,壓電納米臺內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,確保了納米臺具有極佳的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。壓電納米臺為無磁材質,使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。壓電納米定位臺特點體積小、結構緊湊、易于集成。

P25系列


XY 150~500μm

P68系列


XYZ 150~500μm θxθyθz 0.7~2.5mrad

P11系列


XYZ 100μm

P11系列


XY 100~200μm


XZ 100~200μm

P11系列


X 100~200μm


Z 100~400μm

<節選6>P64系列二維壓電掃描臺介紹

P64系列


XY 150~500μm

二維壓電掃描臺 ║P64系列是采用壓電陶瓷驅動的二維并聯壓電納米定位掃描臺,壓電掃描臺內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈并聯導向機構,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點,壓電掃描臺內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,確保了壓電掃描臺具有極佳的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。壓電掃描臺內部采用并聯式結構設計 , 結構緊湊,所有促動器作用在同一個移動臺面上,可同時實現多軸運動且每軸具有相同的動態性。對比嵌套式或疊堆式的串聯結構,并聯結構有著更輕的質量,更低的慣量和更高的動態性。中空式設計,且中央通孔較大,可更好的適用于顯微及掃描系統中。