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壓電物鏡位移器 ║P215S

產品參數
運動軸 Z
行程 600μm
分辨率 3nm
外形尺寸 60x65x52.5mm
結構類型 機構放大式結構

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壓電物鏡位移器 ║P215S是采用壓電陶瓷驅動的納米級壓電物鏡聚焦掃描器,壓電物鏡位移器內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點,聚焦行程可達560微米,壓電物鏡位移器內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,確保了壓電物鏡位移器具有極佳的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級壓電物鏡定位器為無磁材質,使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。分立的螺紋轉接器,可適配多種型號的物鏡。深得三維成像技術、篩選、干涉、計量、自動對焦系統、共聚焦顯微鏡、半導體測試、生物技術等應用用戶認可。

◆ 外形尺寸:60x65x52.5mm,結構緊湊,易于集成,靈活的螺紋轉接器,最大螺紋接口M32

◆ 超大行程達600μm,超高分辨率達3nm;

◆ 采用無摩擦高精度柔性鉸鏈導向系統,快速響應;

◆ 內置高性能的壓電陶瓷,高可靠性;

◆ 內置精密位移傳感器進行全閉環位置反饋,開/閉環可供選擇。

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