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壓電物鏡位移器 ║P216S

產品參數
運動軸 Z
行程 600μm
結構類型 機構放大式結構

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壓電物鏡位移器 ║P216S是采用壓電陶瓷驅動的納米級壓電物鏡掃描儀,用于精細對焦調節和高速Z軸序列圖像采集,用于顯微鏡物鏡的大行程定位器和掃描儀,它兼容多款顯微鏡,它避開了集成在顯微鏡中的相對緩慢的步進電機,從而實現了快速的3D掃描。深得三維成像技術、篩選、干涉、計量、自動對焦系統、共聚焦顯微鏡、半導體測試、生物技術等應用用戶認可。壓電物鏡掃描儀內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點,聚焦行程可達600微米,壓電物鏡位移器內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,確保了壓電物鏡位移器具有極佳的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。壓電物鏡定位器為無磁材質,使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。分立的螺紋轉接器,可適配多種型號的物鏡。

                                                                                                    

◆ 結構緊湊,易于集成,分立式螺紋適配器可實現便捷連接;

● 超分辨率顯微鏡

◆ 與電機式驅動器相比,具有明顯更快的響應和更長的使用壽命;

● 光學圓盤顯微鏡

◆ 亞納米級分辨率的物鏡精密定位;

● 共聚焦顯微鏡

◆ 零間隙無摩擦高精度柔性鉸鏈導向系統可實現更好的聚焦穩定性;

● 3D成像

◆ 內置高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命;

● 篩選

◆ 內置精密位移傳感器進行全閉環位置反饋,開/閉環可供選擇。

● 干涉測量


● 測量技術


● 自動聚焦系統


● 生物技術


● 半導體測試

型號

P216S

P216

單位

公差

主動軸

Z

Z

-

-

運動和定位





傳感器類型

SGS

-

-

-

最大行程[-20V~+150V]

600

同S版

μm

±20%

標稱行程[0V~+120V]

480

同S版

μm

±20%

分辨率

6

同S版

nm

typ.

閉環線性度

0.12

-

%F.S.

typ.

重復定位精度

0.03

-

%F.S.

typ.

機械特性





運動方向剛度

0.2

同S版

N/μm

±20%

空載諧振頻率

280

同S版

Hz

±20%

諧振頻率@80g

160

同S版

Hz

±20%

運動方向推/拉力

100/20

同S版

N

Max.

其他





工作溫度

-20~80

同S版

-

材質

鋼,鋁

同S版

-

-

外形尺寸

65x62x50

同S版

mm

-

最大物鏡接口

M32

同S版

-

Max.

最大物鏡重量

500

同S版

g

Max.

重量

0.42

同S版

Kg

±5%

線纜長度

1.5

同S版

m

±10mm

連接器類型

LEMO│D-Sub9

同S版

-

-

注:最大驅動電壓為-20V...+150V;長期使用建議驅動電壓為0V...+120V。

專業知識與技術

  • 研生首創,國際技術領先:獨特的超高精度全并聯式柔性鉸鏈導向系統

    突出優勢:研生首創,國際技術領先:獨特的超高精度全并聯式柔性鉸鏈導向系統。研生科技設計開發的并聯式柔性鉸鏈導向結構技術已成功轉化為系列化產品,并廣泛應用于各相關應用領域……

    10-10
  • 柔性鉸鏈導向放大結構

    在納米定位技術中,柔性鉸鏈導向系統可實現高達幾毫米的定位任務。柔性鉸鏈的運動基于固體的彈性變形。這避免了靜態、滾動或滑動摩擦,其優點是高剛性、高承載和耐磨性。柔性鉸鏈無需維護,可使用非磁性材料制造,不需要潤滑劑或消耗品,因此可在真空環境下工作。壓電陶瓷促動器的行程也可通過集成杠桿機構增加。促動器被機械地集成在柔性鉸鏈結構內,行程可擴展至2 mm。由于簡單的杠桿結構會使系統失去了相當數量的指導精度和剛度,所以需要設計更復雜的柔性鉸鏈導向結構。柔性鉸鏈可實現超高路徑精度的運動。為了補償高速或橫向偏移,研生公司開發出了多種特殊的復合式多連桿柔性導向結構。這些導向系統應用于各類納米級精密定位系統中,可實現在亞納米或微弧度范圍內的運動精度。

    03-06
  • 壓電陶瓷促動器(二)

    壓電陶瓷堆疊型促動器的位移通??蛇_幾十微米,最大可達幾百微米。柔性鉸鏈導向結構可通過設計,使其作用原理如同一根機械杠桿,對壓電陶瓷促動器的位移進行機械放大,必要時將促動器引導至一個不同的方向上。杠桿放大系統的設計十分嚴苛:一方面,其應防止側向偏移,另一方面,其應始終沿直線進行導向,杠桿通常是通過一個樞軸點進行引導。此外,行程的增大將導致剛度減小。柔性鉸鏈導向可通過設計,使其進一步集成無需額外導向。柔性鉸鏈結構是用作導向和杠桿系統,在具有更高集成度的壓電陶瓷系統中作用也是如此。

    02-28
  • 并聯運動壓電陶瓷定位系統

    在多軸并聯系統中,所有促動器直接作用于單一運動平臺。這意味著可以為所有軸設計相同的動態特性,從而大幅降低移動質量。優勢:并聯運動系統可比串行堆疊或嵌套系統設計得更緊湊。單個軸的誤差和質量不會累積。由于最小化質量慣性,并聯運動系統可提供多達6個水平的自由度和所有軸的高動態。多軸并聯運動允許使用直接平行計量,測量所有有關固定參考的移動平臺的自由度。例如,由于力的作用而意外的串擾進入不同軸,因此可檢測并實時糾正。這種積極的實時校準即使在動態運行時,也可實現納米范圍內的運動精度。

    02-20
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壓電物鏡位移器 ║P216S

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